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蘇州佐藤精密儀器有限公司
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第五代飛納電鏡能譜一體機 Phenom ProX 是終極的集成化成像分析系統，分辨率提升 20%，進一步增加應用范圍，更加適用于對電子束敏感的樣品。借助該系統，既可觀察樣品的表面形貌，又可分析其元素組分。
研究樣品時，得到樣品的形貌信息只是解決了一半問題。獲得樣品的元素組分信息往往也是非常必要的。借助全面集成、特殊設計的能譜探測器，飛納電鏡能譜一體機 Phenom ProX 可以完善解決上述所有問題。
能譜儀是一種基于樣品被電子束激發而產生 X 射線的分析儀器。Phenom 的能譜儀無論軟件、硬件都是完全集成設計在飛納電鏡能譜一體機 Phenom ProX 系統中。
Element Identification (EID) 軟件可以使用戶實現多點分析，檢測樣品的元素組分。此外，該軟件還可以擴展到元素分析線面掃（mapping）功能。分步操作界面可以幫助用戶更方便地收集、導出分析數據。
Phenom Pro |
Phenom ProX |
Phenom XL |
|
| 光學放大 |
20 - 135 X |
20 - 135 X |
3 - 16 X |
| 電子光學放大 |
80 - 150,000 X |
80 - 150,000 X |
80 - 100,000 X |
| 分辨率 |
優于 8 nm |
優于 8 nm |
優于 14 nm |
| 數字放大 |
Max. 12 X |
Max. 12 X |
Max. 12 X |
| 光學導航相機 |
彩色 |
彩色 |
彩色 |
| 加速電壓 |
5 kV - 15 kV 連續可調 |
5 kV - 15 kV 連續可調 |
5 kV - 20 kV 連續可調 |
| 真空模式 |
高分辨率模式 降低荷電效應模式 |
高分辨率模式 降低荷電效應模式 |
高分辨率模式 降低荷電效應模式 高真空模式 |
| 探測器 |
背散射電子探測器 二次電子探測器 (選配) |
背散射電子探測器 二次電子探測器 (選配) |
背散射電子探測器 二次電子探測器 (選配) |