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蘇州佐藤精密儀器有限公司
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秉承飛納臺式電鏡系列全自動操作、快速成像、不噴金觀看絕緣體、完全防震、性能穩定的特點，經過精心的設計，臺式掃描電鏡領軍制造商荷蘭 Phenom-World 公司推出了臺式場發射掃描電鏡 Phenom LE，將臺式電鏡的分辨率提升至優于 2.5nm。
Phenom LE 飛納臺式場發射電鏡采用熱場發射電子源，信噪比高，使用壽命長，保證長期穩定的性能。飛納臺式場發射掃描電鏡能譜一體機標配背散射電子成像、二次電子電子成像和能譜分析功能，可對各種樣品進行高分辨成像及元素分析。
規格參數
Phenom Pro |
Phenom ProX |
Phenom LE |
|
| 光學放大 |
20 - 135 X |
20 - 135 X |
20 - 135 X |
| 電子光學放大 |
80 - 150,000 X |
80 - 150,000 X |
200 - 500,000 X |
| 分辨率 |
優于 8 nm |
優于 8 nm |
優于 2.5 nm |
| 數字放大 |
Max. 12 X |
Max. 12 X |
Max. 12 X |
| 光學導航相機 |
彩色 |
彩色 |
彩色 |
| 加速電壓 |
5 kV - 15 kV 連續可調 |
5 kV - 15 kV 連續可調 |
2 kV - 15 kV 連續可調 |
| 真空模式 |
高分辨率模式 降低荷電效應模式 |
高分辨率模式 降低荷電效應模式 |
高分辨率模式 降低荷電效應模式 |
| 探測器 |
背散射電子探測器 二次電子探測器 (選配) |
背散射電子探測器 二次電子探測器 (選配) |
背散射電子探測器 二次電子探測器 能譜探測器 |