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日立2011年新推出了SU9000超高分辨冷場發射掃描電鏡，達到掃描電鏡世界最高二次電子分辨率0.4nm和STEM分辨率0.34nm。日立SU9000采取了全新改進的真空系統和電子光學系統，不僅分辨率性能明顯提升，而且作為一款冷場發射掃描電鏡甚至不需要傳統意義上的Flashing操作，可以高效率的快速獲取樣品超高分辨掃描電鏡圖像。
特點：
1. 新型電子光學系統設計達到掃描電鏡世界最高分辨率：二次電子0.4nm（30KV），STEM 0.34nm（30KV）。
2. Hitachi專利設計的E×B系統，可以自由控制SE和BSE檢測信號。
3. 全新真空技術設計使得SU9000冷場發射電子束具有超穩定和高亮度特點。
4. 全新物鏡設計顯著提高低加速電壓條件下的圖像分辨率。
5. STEM的明場像能夠調整信號檢測角度，明場像、暗場像和二次電子圖像可以同時顯示并拍攝照片。
6. 與FIB兼容的側插樣品桿提高更換樣品效率和高倍率圖像觀察效率。