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高速分析熱場發射掃描電子顯微鏡

技術參數：
1.分辨率：1.2nm(30kV)/3.0nm(1kV)
2.加速電壓：0.2KV-30kV
3.放大倍數：10-100萬倍
4.大束流高分辨5nA，WD10mm,15kV時分辨率3.0nm
5.束流強度：1pA到200nA(15KV)

主要特點：
1.浸沒式熱場發射電子槍，束流強度******200nA（15KV)
2.無漏磁物鏡設計，便于磁性樣品觀測和EBSP觀測不變形
3.自動光闌角控制器,無需調整光闌
4.全自動控制聚焦、合軸、消像散、控制掃描速度
5.適于配合多種分析性探頭

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